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‘2025년 인프라 고도화 지원과제’에 참여한 가천대 연구진의 모습. 왼쪽부터 엄기태, 조의식, 이수길, 진강태, 최두호, 한상윤, 윤상문 교수. |
[대학저널 이선용 기자] 가천대학교 바이오나노융합소재 연구센터가 오는 2030년까지 총 83억 원의 정부지원을 받아 ‘원자단위 소자 특성 매핑 특화 수차보정 투과전자현미경(Cs-corrected TEM)’ 구축에 나선다.
이번에 구축되는 인프라는 원자수준의 구조 분석이 가능한 수차보정 투과전자현미경 (Cs-corrected TEM))을 기반으로, 에너지 분산 분광기 (EDS), 전자 에너지 손실 분광기 (EELS), 고속 전자빔 측정기 (4D-STEM), 전자빔 유도 전류 측정 시스템 (EBIC), 로렌츠 렌즈, 실시간 전압 인가 홀더, 실시간 자기장 인가 홀더, 진공 이송 냉각 홀더 등 다양한 첨단 요소 하드웨어를 결합하고 있다.
이를 통해 가천대는 국내 최초로 서브나노미터급 반도체 소자의 특성 매핑과 오퍼란도(Operando) 연구가 가능해지며, 고도화된 반도체 소자 분석 및 개발의 새로운 전기를 마련할 것으로 기대된다.
가천대는 지난 4월 교육부 ‘2025년 인프라 고도화 지원과제’에 최종 선정됐으며, 이사업은 대학 내 첨단 연구장비 및 기반시설을 전략적으로 고도화해 미래 혁신 연구를 촉진하고, 고부가가치 창출이 가능한 연구 생태계를 구축하는 것을 목표로 하는 국가 연구지원 사업이다.
이 과제에는 윤상문 교수(반도체물리학과), 최두호·이수길·엄기태·진강태 교수(반도체공학과), 조의식 교수(전자공학과) 등 관련 분야의 교수진이 참여해, 구축된 인프라를 활용한 차세대 반도체 소자 연구에 본격적으로 착수할 계획이다.
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